產品詳情
簡單介紹：
多級抽氣式高真空度真空探針臺是一種輔助執行機構，測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上，在顯微鏡配合下，X-Y移動器件，找到需要探測的位置，接下來通過旋轉探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針(射頻或直流探針)，準確扎到被測點，從而使其訊,號線與外部測試機導通，通過測試機可以得到所需要的電性能參數。
詳情介紹：
多級抽氣式高真空度真空探針臺
產品優勢
真空-溫度協同控制真空系統：分子泵+渦旋泵多級抽氣，30分鐘內實現10^-6 torr級真空度，支持惰性氣體氛圍切換；
超寬溫域：液氮制冷與電極加熱復合控溫，控溫穩定性±0.1K。
精細測量能力
抗干擾設計：真空屏蔽腔體降低電磁噪聲，支持pA級微弱電流與μΩ級電阻測量；
多通道拓展：標配4探針臂（可擴展至6探針臂），支持四線法、射頻探針、光電協同測試。
產品參數
腔體樣品臺尺寸：4英寸
樣品固定：彈簧壓片
觀察窗口：4英寸
真空度：10^-6 torr
探針臂接口：至多6個探針臂接口
其它接口：電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口
制冷方式：制冷機
控制方式：閉循環自動控制
溫度范圍：4.5K ~ 450K
溫度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K
穩定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K
顯微鏡
X-Y-Z 移動行程：50mm×25mm×13mm
結構：外置探針臂，真空波紋管結構
移動精度：10μm / 1μm
光源：外置LED環形光源 / 同軸光源
CCD：200萬像素 / 500萬像素 / 1200萬像素
探針座
X-Y-Z 移動行程：50mm×25mm×13mm
結構：外置探針臂，真空波紋管結構
移動精度：10μm / 1μm
探針夾具
線纜：同軸線 / 三軸線 / 射頻線
漏電精度：10pA / 100fA / 10fA
固定探針：彈簧固定 / 螺絲固定
接頭類型：BNC / 三軸 / 香蕉頭 / 鱷魚夾 / 接線端子/ 射頻接口
探針
射頻支持：DC-67GHZ
針尖直徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm
材質：鎢鋼 / 鈹銅
真空組件 分子泵組 / 機械泵
冷源組件 50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷機
外形重量 730mm×750mm×1265mm（長寬高） 約100kg
防震桌參數
應用領域
1. 研發階段：材料與器件的極限性能探索在新型半導體材料（如鈣鈦礦、氧化鎵）的研發中，多級抽氣式高真空度真空探針臺可實時監測材料在真空、高溫或低溫條件下的載流子遷移率、擊穿電壓等參數，為材料優化提供數據支撐。
2. 失效分析：準確定位缺陷根源
通過微區探針掃描技術，配合SEM或FIB聯用，可對芯片的短路、漏電等故障點進行亞微米級定位，快速鎖定制造工藝中的缺陷環節。
3. 量產前驗證：提升良率與可靠性
在晶圓出廠前，多級抽氣式高真空度真空探針臺可對成千上萬個微結構進行自動化批量測試（如接觸電阻、絕緣性能），結合AI算法實時分析數據，提前篩除次品，降低下游封測成本。
