探針臺可根據客戶要求定制

設備規格

序號

尺寸

4英寸/6英寸

1

水平旋轉

可360度旋轉，可微調15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置

2

X-Y移動行程

2英寸*3英寸

3

X-Y移動精度

10微米

4

樣品臺Z軸調節

可升降10mm

5

樣品固定

真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環

6

針座平臺

左右各一個針座平臺，zui多可放置6個探針座

7

背電極測試

樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極

8

外形尺寸

400mm長*380mm寬*500mm高

9

重量

約20千克

光學系統

1

顯微鏡類型

單筒顯微鏡/體式顯微鏡

2

放大倍率

16X-200X

3

移動行程

水平方向繞立柱360度旋轉，Z軸50.8mm

4

光源

外置LED無極調節亮度環形光源

5

CCD

200萬像素/500萬像素/1200萬像素

定位器

1

X-Y-Z移動行程

12mm*12mm*12mm

2

移動精度

10微米/2微米/0.7微米/0.5微米

3

吸附方式

磁力吸附/真空吸附

4

線纜

同軸線/三軸線

5

漏電精度

10pA/100fA/10fA

6

固定探針

彈簧固定/管狀固定

7

接頭類型

BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

8

針尖直徑

0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

9

針尖材質

鎢鋼/鈹銅

可選附件

1

加熱臺

2

顯示器

3

轉接頭

4

射頻測試配件

5

屏蔽箱

6

光學平臺

7

鍍金卡盤

8

光電測試配件